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    Hakuto 離子蝕刻機

    Hakuto 日本原裝設計制造離子刻蝕機 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
    伯東公司超過 50年的刻蝕 IBE 市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

    Hakuto 離子蝕刻機

    伯東離子蝕刻機對磁性材料, 黃金, 鉑和合金金屬提供蝕刻技術. 適合做各種材料的蝕刻.

    型號

    4 IBE

    7.5 IBE

    16 IBE

    20 IBE-C

    MEL 3100

    樣品數量尺寸

    4”φ, 1片

    4”φ, 1片

    6”φ, 1片

    4”φ, 6片
    6”φ, 4片

    3”φ-6”φ,1片

    均勻性

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%

    ≤±5%

    離子蝕刻機 4 IBE

    小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究
    樣品數量尺寸: 4”φ, 1片
    配置考夫曼離子源 KDC 40

    離子刻蝕機

     

    離子蝕刻機 7.5 IBE

    小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究
    樣品數量尺寸: 4”φ, 1片
    配置考夫曼離子源 KDC 75

    離子蝕刻機

     

    離子蝕刻機 10 IBE

    小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究
    樣品數量尺寸: 4”φ, 1片

    離子刻蝕機

     

    離子蝕刻機 20 IBE-C

    適合中等規模量產使用的離子刻蝕機
    樣品數量尺寸: 4”φ, 6片 或 6”φ, 4片

     

    離子蝕刻機 20 IBE-J

    適合大規模量產使用的離子刻蝕機

     

    全自動離子刻蝕機 MEL 3100

    全自動離子刻蝕機,
    樣品數量尺寸: 3”φ - 6”φ,1片

    全自動離子刻蝕機

     

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