<tr id="ggnr9"></tr>

  • <big id="ggnr9"><nobr id="ggnr9"><track id="ggnr9"></track></nobr></big>

    氦質譜檢漏儀電子束光刻機檢漏
    閱讀數: 1123

    氦質譜檢漏儀電子束光刻機檢漏

    氦質譜檢漏儀電子束光刻機檢漏
    上海伯東客戶某光刻機生產商, 生產的電子束光刻機 Electron Beam Lithography System 最大能容納 300mmφ 的晶圓片和 6英寸的掩模版, 適合納米壓印, 光子器件, 通信設備等多個領域的研發及生產. 經過伯東推薦采購氦質譜檢漏儀 ASM 310 用于電子束光刻機腔體檢漏.
    氦質譜檢漏儀電子束光刻機檢漏

    電子束光刻機腔體需要檢漏
    電子束光刻機內部腔體使用分子泵, 離子泵抽真空, 通過全量程真空計 PKR 251 監測真空度, 腔體需要維持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔體有漏導致真空度不夠, 會影響設備性能, 因此需要對整個腔體進行泄漏檢測.

    電子束光刻機腔體檢漏方法
    上海伯東推薦客戶使用前級泵為干泵的便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 進行泄漏檢測.
    當真空度達到 15 hPa 時, 在腔體周圍懷疑有漏的位置吹掃一定量的氦氣, 同時啟動便攜式檢漏儀 ASM 310 開始檢漏, 真空模式下, 設置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有檢測到實際漏率大于設定值, 檢漏儀會報警提醒同時操作界面顯示漏率值, 從而可以定位定量判斷腔體泄漏位置, 完成整個腔體的泄漏檢測.
    便攜式氦質譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場上同類型檢漏儀最輕便緊湊的產品
    對氦氣的最小檢測漏率
    真空模式 5E-13 Pa m3/s
    吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
    對氦氣的抽氣速度 1.1 l/s

    鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解電子束光刻機檢漏, 請參考以下聯絡方式
    上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
    T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
    M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
    上海伯東版權所有, 翻拷必究!

    其他產品
    国产在线拍揄自揄视频菠萝,亚洲另类激情专区小说图片,国内午夜免费一级鲁丝片,他把胸罩撕了捏胸吃奶

    <tr id="ggnr9"></tr>

  • <big id="ggnr9"><nobr id="ggnr9"><track id="ggnr9"></track></nobr></big>